配置3台70旋片泵,1台600罗茨泵,3台400分子泵,全不锈钢炉体,2支磁控溅射平面靶,1台天地精仪深冷捕集器,全自动控制电气系统
内部尺寸1688×1200,真空室内壁厚10mm,外壁厚5cm,更多配置可联系东莞远大真空技术有限责任公司
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