1.2米振华中频磁控溅射机电阻/电容/传感器/电子产品行业镀膜机 主要技术参数: 1.镀膜室尺寸:1150×1200 2.真空系统:油扩散泵两台,2x-70升旋片泵一台,罗茨泵一台,2x-15升旋片泵一台 3.极限真空:5×10-4 pa 4.抽气时间:从大气抽至5×10-3pa小于20分钟(空载) 6.多弧源:8个×95,功率:8×2KW 7.磁控溅射平面靶(无) 8.磁控中频溅射圆柱靶2支×30KW 此设备由东莞市远大真空技术有限责任公司转让,联系方式,胡生 2827 9.偏压:20KW 10.温度控制:用温控仪控制,热电偶测量炉内温度 11.真空室加热:6根加热管 12.工件转架:9轴公自转 14.设备总功率:80KW 15.设备总重量:约4T 16.设备总占地面积:16M2 17.使用220V/380V电压 18.用于冷却的水亦以软水为宜,水压为2kg/cm2 19.气源4-6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜 中频磁控溅射镀膜机可在塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材、电阻、电容、传感器**磁控溅射镀膜机等行业。 该系列设备主要是(集)直流磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不锈钢、镍等金属材料,可利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。 此设备由东莞市远大真空技术有限责任公司转让,联系方式,胡生 2827